申请/专利权人:福建华佳彩有限公司
申请日:2020-12-25
公开(公告)日:2022-02-11
公开(公告)号:CN215799838U
主分类号:C23C14/04(20060101)
分类号:C23C14/04(20060101);C23C14/24(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2022.02.11#授权
摘要:本实用新型公开了一种FMM精细金属掩膜板,包括掩膜版,所述掩膜版包括蒸镀像素格和减重槽;所述减重槽位于所述掩膜版除所述蒸镀像素格之外的位置上。即本实用新型通过在掩膜版上设置减重槽,降低掩膜版的自身重量,从而减少掩膜版的下垂量,达到改善蒸镀良率及蒸镀品质的目的。
主权项:1.一种FMM精细金属掩膜板,其特征在于,包括掩膜版,所述掩膜版包括蒸镀像素格和减重槽;所述减重槽位于所述掩膜版除所述蒸镀像素格之外的位置上;所述减重槽位于所述蒸镀像素格的相邻列或相邻行之间。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 福建华佳彩有限公司 一种FMM精细金属掩膜板
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