申请/专利权人：山东有研半导体材料有限公司;有研半导体硅材料股份公司

申请日：2021-12-21

公开（公告）日：2022-03-25

公开（公告）号：CN114233969A

主分类号：F16L41/08(20060101)

分类号：F16L41/08(20060101);C23C16/40(20060101);C23C16/44(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.04.12#实质审查的生效;2022.03.25#公开

摘要：本发明公开了一种用于APCVD背封炉氮气罩的固定装置。该固定装置包括供氮气罩管路穿过的主体部分、用于将氮气罩管路与主体部分彼此紧固的固定螺母，所述主体部分具有圆柱体、设置在圆柱体上部的圆台部，以及设置在圆台部上部的紧固部；该紧固部外周设有螺纹，并在该紧固部的径向上设有凹槽，所述氮气罩管路穿过的位置与该凹槽在同一直线上；所述固定螺母具有与所述紧固部外周的螺纹匹配的内螺纹。本发明的固定装置能够保证固定的密封性和紧合度，可重复多次使用，可适用于所有APCVD背封炉，具有很强的通用性。本发明的固定装置显著地减少了设备的停机时间，保证了产品的质量，节约了喷头由于断钉造成的维修成本，杜绝了由于氮气罩固定造成的故障发生。

主权项：1.一种用于APCVD背封炉氮气罩的固定装置，其特征在于，该固定装置包括供氮气罩管路穿过的主体部分、用于将氮气罩管路与主体部分彼此紧固的固定螺母，所述主体部分具有圆柱体、设置在圆柱体上部的圆台部，以及设置在圆台部上部的紧固部；该紧固部外周设有螺纹，并在该紧固部的径向上设有凹槽，所述氮气罩管路穿过的位置与该凹槽在同一直线上；所述固定螺母具有与所述紧固部外周的螺纹匹配的内螺纹。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 山东有研半导体材料有限公司;有研半导体硅材料股份公司 一种APCVD背封炉氮气罩的固定装置

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