申请/专利权人：河南科技学院

申请日：2022-05-27

公开（公告）日：2022-08-19

公开（公告）号：CN114918817A

主分类号：B24B37/00

分类号：B24B37/00;B24B37/34;B24B37/005;B24B1/00;B24B57/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.09.06#实质审查的生效;2022.08.19#公开

摘要：本发明公开了一种Roll‑to‑Roll化学机械抛光装置及方法，该装置包括：抛光机构，用于对待抛光的衬底材料进行抛光；抛光包括：粗抛、半精抛和精抛；检测机构，与抛光机构连接，用于采集完成抛光的衬底材料的表面图像数据；上位机，分别与抛光机构和检测机构连接，用于根据表面图像数据通过神经网络算法生成抛光评价结果，并将抛光评价结果传输给抛光机构；抛光机构还用于根据抛光评价结果调整抛光参数；抛光参数包括衬底材料进料速度、抛光液流量、研抛轮转速、抛光界面压力、气体压力值和冲洗压力值。本发明采用神经网络算法对采集的参数进行实时的评估，提升工件表面加工质量以及化学机械抛光效率。

主权项：1.一种Roll-to-Roll化学机械抛光装置，其特征在于，所述装置包括：抛光机构，用于对待抛光的衬底材料进行抛光；所述抛光包括：粗抛、半精抛和精抛；检测机构，与所述抛光机构连接，用于采集完成抛光的衬底材料的表面图像数据；上位机，分别与所述抛光机构和所述检测机构连接，用于根据所述表面图像数据通过神经网络算法生成抛光评价结果，并将所述抛光评价结果传输给所述抛光机构；所述抛光机构还用于根据所述抛光评价结果调整抛光参数；所述抛光参数包括衬底材料进料速度、抛光液流量、研抛轮转速、抛光界面压力、气体压力值和冲洗压力值。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 河南科技学院 一种Roll-to-Roll化学机械抛光装置及方法

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