申请/专利权人：宁波威霖住宅设施有限公司

申请日：2020-08-17

公开（公告）日：2022-11-01

公开（公告）号：CN111996494B

主分类号：C23C14/16

分类号：C23C14/16;C23C14/35;B05D7/24;B05D7/14

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.11.01#授权;2020.12.15#实质审查的生效;2020.11.27#公开

摘要：本发明涉及一种金属表面仿古铜镀膜方法，其特征在于，包括以下步骤：1将工件进行抛光；2对抛光后的工件进行清洗；3将清洗后的工件转入真空炉内，抽气至达到本底真空度后进行辉光清洗或离子源清洗，然后依次采用磁控溅射沉积金属铬层作为过渡层、采用磁控溅射沉积金属铜层作为底色层、采用反应溅射沉积金属铜层作为面色层；4从真空炉内取出镀膜后的工件，并对面色层进行拉丝，形成纹路；5将拉丝后的工件进行喷透明漆或透明粉，然后进行固化。该镀膜方法工艺简单，生产过程易控制，生产工艺稳定。

主权项：1.一种金属表面仿古铜镀膜方法，其特征在于，包括以下步骤：1将工件进行抛光；2对抛光后的工件进行清洗；3将清洗后的工件转入真空炉内，抽气至达到本底真空度后进行辉光清洗或离子源清洗，然后依次采用磁控溅射沉积金属铬层作为过渡层、采用磁控溅射沉积金属铜层作为底色层、采用反应溅射沉积氧化铜作为面色层；所述面色层的沉积工艺为：所述面色层采用紫铜靶材，通入氩气和氧气的混合气体使真空度达到0.3～0.6Pa，氩气流量为50～150sccm，氧气流量为50～150sccm，在沉积过程中氧气流量逐渐增加，沉积时间20min～60min，靶电流在10A～40A，偏压30～150V，占空比40%～80%，偏压电流在0.1～1.0A；所述氧气流量按5sccmmin的梯度增加至50～150sccm；4从真空炉内取出镀膜后的工件，并对面色层进行拉丝，形成纹路；5将拉丝后的工件进行喷透明漆或透明粉，然后进行固化。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 宁波威霖住宅设施有限公司 一种金属表面仿古铜镀膜方法

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