申请/专利权人：泉州师范学院

申请日：2022-04-13

公开（公告）日：2022-11-22

公开（公告）号：CN217878948U

主分类号：G01N21/892

分类号：G01N21/892;G01N21/01

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.11.22#授权

摘要：本实用新型涉及一种实现半导体晶粒行进方向上前后两端面成像检测的装置，其特征在于：在所述光学装置的光路方向上依次设置有相机、远心成像镜头、合像棱镜、第一组转像棱镜组件、第二组转像棱镜组件、半导体晶粒和玻璃载物转盘，所述合像棱镜位于远心成像镜头的光轴上；本检测装置可实现半导体晶粒运动方向上两端面的动态检测，同时降低了对成像镜头视场大小的要求，有效控制检测装置的成本；本实用新型检测装置使用的第三、第四直角转像棱镜安装在玻璃载物转盘及半导体晶粒的上方，无需与半导体晶粒表面接触，且不会与玻璃载物转盘产生干涉，可实现半导体晶粒在行进方向上前、后两端面的动态检测。

主权项：1.一种实现半导体晶粒行进方向上前后两端面成像检测的装置，其特征在于：在所述装置的光路方向上依次设置有相机、远心成像镜头、合像棱镜、第一组转像棱镜组件、第二组转像棱镜组件、半导体晶粒和玻璃载物转盘，所述合像棱镜位于远心成像镜头的光轴上；所述第一组转像棱镜组件为对称设置在合像棱镜两侧的第一直角转像棱镜和第二直角转像棱镜，所述第一直角转像棱镜和第二直角转像棱镜的第一直角边平行于远心成像镜头的光轴，所述第一直角转像棱镜和第二直角转像棱镜的第二直角边垂直于远心成像镜头的光轴，第一直角转像棱镜和第二直角转像棱镜的斜面背向远心成像镜头光轴并与其形成45度夹角；所述第二组转像棱镜组件为对称设置在第一组转像棱镜组件下方的第三直角转像棱镜和第四直角转像棱镜；第三直角转像棱镜和第四直角转像棱镜的第一直角边远离远心成像镜头的光轴，第三直角转像棱镜和第四直角转像棱镜的第二直角边靠近第一直角转像棱镜或第二直角转像棱镜的第二直角边，第三直角转像棱镜和第四直角转像棱镜的斜面靠近远心成像镜头的光轴；所述半导体晶粒由玻璃载物转盘支撑并随之转动，并在第二组转像棱镜组件下方且垂直于光轴的方向移动，半导体晶粒在行进方向上的前、后两端面，即半导体晶粒的第一端面和第二端面与远心成像镜头的光轴平行。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 泉州师范学院 一种实现半导体晶粒行进方向上前后两端面成像检测的装置

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