申请/专利权人：浜松光子学株式会社

申请日：2021-01-27

公开（公告）日：2022-12-02

公开（公告）号：CN115427344A

主分类号：B81B3/00

分类号：B81B3/00;G02B26/08;G02B26/10

优先权：["20200406 JP 2020-068527"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.12.20#实质审查的生效;2022.12.02#公开

摘要：本发明的MEMS致动器具备：可动梳齿电极，通过在其与固定梳齿电极之间产生的静电力来驱动可动部；驱动电路，其在固定梳齿电极与可动梳齿电极之间施加驱动电压，该驱动电压具有周期性地反复上升和下降，并且包含在上升后且下降前成为恒定电压的期间的时间波形；和时刻检测电路，其将因固定梳齿电极与可动梳齿电极之间的电容的变化而在期间内从固定梳齿电极或可动梳齿电极输出的电流信号转换为电压信号，而生成表示电容的微分值的电容微分信号，并检测电容微分信号到达阈值的时刻。驱动电路将在时刻检测电路检测的时刻与驱动电压的下降的时刻的关系控制成恒定。

主权项：1.一种MEMS致动器，其中，具备：基部与可动部，所述可动部被支承为相对于所述基部能够弹性移位；固定梳齿电极，其包括多个第一梳齿，并且设置于所述基部；可动梳齿电极，其包括与所述多个第一梳齿交替配置的多个第二梳齿，通过在所述可动梳齿电极与所述固定梳齿电极之间产生的静电力来驱动所述可动部；驱动电路，其在所述固定梳齿电极与所述可动梳齿电极之间施加驱动电压，该驱动电压具有周期性地反复上升和下降，并且包含在所述上升后且所述下降前成为恒定电压的期间的时间波形；和时刻检测电路，其将因所述固定梳齿电极与所述可动梳齿电极之间的电容的变化而在所述期间内从所述固定梳齿电极或所述可动梳齿电极输出的电流信号转换为电压信号，而生成表示所述电容的微分值的电容微分信号，并检测所述电容微分信号到达阈值的时刻，所述驱动电路将在所述时刻检测电路检测的所述时刻与所述下降的时刻的关系控制成恒定。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浜松光子学株式会社 MEMS致动器、MEMS致动器的驱动方法和MEMS致动器控制程序

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