申请/专利权人：北京烁科精微电子装备有限公司

申请日：2021-10-29

公开（公告）日：2023-01-24

公开（公告）号：CN113894696B

主分类号：B24B37/30

分类号：B24B37/30;B24B37/005;B24B49/00;B24B37/10;B24B7/22;H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.01.24#授权;2022.01.25#实质审查的生效;2022.01.07#公开

摘要：本发明提供一种抛光监测装置和抛光监测方法，所述抛光监测装置包括抛光头，所述抛光头包括柔性膜和承载体，所述柔性膜包括柔性膜主体和若干间隔件，若干个间隔件、柔性膜主体和承载体围成若干个间隔的气体腔；与气体腔连通的气路；压力控制模块包括若干个压力传感单元、若干个信号处理单元、控制单元和若干个压力调节单元，所述控制单元适于根据所述若干个信号处理单元的输出信号的频率带宽一一对应控制所述若干个压力调节单元调节对应的气路中的压强。本发明通过监测抛光过程中柔性膜内气体压强的波动频率来实时监测去除量，压力控制模块根据监测结果实时调整抛光去除量，避免了将抛光去除量的监测和调整分别进行的繁琐过程，显著提高了效率。

主权项：1.一种抛光监测装置，其特征在于，包括：抛光头，所述抛光头包括柔性膜和承载体，所述柔性膜包括柔性膜主体和位于柔性膜主体朝向所述承载体一侧表面的若干间隔件，所述若干间隔件、所述柔性膜主体和所述承载体围成的若干个间隔的气体腔；若干个气路，所述若干个气路分别一一对应与若干气体腔连通；压力控制模块，所述压力控制模块包括：若干个压力传感单元、若干个信号处理单元、控制单元和若干个压力调节单元，所述若干个气路一一对应与所述若干个压力传感单元连接，所述若干个压力传感单元的信号输出端一一对应与所述若干个信号处理单元的信号输入端电连接，所述信号处理单元适于输出频谱图，所述控制单元适于根据所述若干个信号处理单元的输出信号的频率带宽一一对应控制所述若干个压力调节单元调节对应的气路中的压强，所述若干个压力调节单元一一对应与所述若干个气路连接，所述压力控制模块用于利用抛光过程中柔性膜内气体压强的波动频率间接反应抛光去除量以实时监测抛光过程中的去除量。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京烁科精微电子装备有限公司 一种抛光监测装置和抛光监测方法

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