申请/专利权人：山东大学

申请日：2022-10-28

公开（公告）日：2023-03-21

公开（公告）号：CN218666399U

主分类号：C30B23/00

分类号：C30B23/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.03.21#授权

摘要：本实用新型涉及晶体生长设备领域，公开了一种PVT感应炉膛下测温孔防堵塞装置。包括设置在感应炉膛下测温孔上方的用于阻挡下测温孔的隔窗，在下测温孔顶部靠近隔窗位置设置用于密封的玻璃层，另外，在感应炉膛内设置驱动隔窗在水平方向上做往复运动的水平运动装置。在升温阶段，将隔窗移动到下测温孔处能够保证掉落的石墨不会污染下测温孔，到达需要检测的温度时，再将隔窗移开下测温孔，使下方的红外测温仪能够检测到内部准确的温度信号。

主权项：1.一种PVT感应炉膛下测温孔防堵塞装置,其特征在于：包括设置在感应炉膛下测温孔玻璃层上方的隔窗，隔窗用于阻挡测温孔和玻璃层，在感应炉膛内设置驱动隔窗在水平方向上做往复运动的水平运动装置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 山东大学 一种PVT感应炉膛下测温孔防堵塞装置

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