申请/专利权人:北京北方华创微电子装备有限公司
申请日:2021-05-10
公开(公告)日:2024-04-16
公开(公告)号:CN113206030B
主分类号:H01L21/67
分类号:H01L21/67;F16M11/04
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.16#授权;2021.08.20#实质审查的生效;2021.08.03#公开
摘要:本发明提供一种测温装置的调节装置,用于半导体工艺设备中,包括第一承载件、第二承载件和调节组件,其中,第一承载件与测温装置连接,用于对测温装置进行承载;第二承载件位于第一承载件下方,并与第一承载件相对设置;调节组件设置在第一承载件与第二承载件之间,且调节组件上设置有至少一个调节旋钮,调节组件用于通过旋转调节旋钮以调节第一承载件相对于第二承载件的倾斜方向。本发明提供的测温装置的调节装置,能够简便高效的对测温装置进行调节,使测温装置朝不同方向倾斜。
主权项:1.一种测温装置的调节装置,用于半导体工艺设备中,其特征在于,包括第一承载件、第二承载件和调节组件,其中,所述第一承载件与所述测温装置连接,用于对所述测温装置进行承载;所述第二承载件位于所述第一承载件下方,并与所述第一承载件相对设置;所述调节组件设置在所述第一承载件与所述第二承载件之间,且所述调节组件上设置有至少一个调节旋钮,所述调节组件用于通过旋转所述调节旋钮以调节所述第一承载件相对于所述第二承载件的倾斜方向;并且,所述调节旋钮面向所述第二承载件的一面固定在所述第二承载件上,面向所述第一承载件的一面与所述第一承载件滚动接触,以在所述调节旋钮调节所述第一承载件相对于所述第二承载件的倾斜方向时,使所述调节旋钮与所述第一承载件之间形成滚动摩擦。
全文数据:
权利要求:
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