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【发明公布】一种形貌更优的单晶硅片制绒添加剂及单晶硅片制绒方法_常州时创能源股份有限公司_202211577568.0 

申请/专利权人:常州时创能源股份有限公司

申请日:2022-12-05

公开(公告)日:2023-04-25

公开(公告)号:CN116005270A

主分类号:C30B33/10

分类号:C30B33/10;C30B29/06;H01L31/18;H01L31/0236

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2023.05.12#实质审查的生效;2023.04.25#公开

摘要:本发明提供了一种形貌更优的单晶硅片制绒添加剂及单晶硅片制绒方法,其特征在于,包括所述的单晶硅片制绒添加剂成分作用及含量如下:成核剂0.001~0.1wt%、主分散剂0.01~1wt%、辅助分散剂0.01~2wt%、脱泡剂5~50wt%、余量为去离子水;在单晶硅片制绒时添加本发明的添加剂能够在保证无醇、环保、快速制绒的前提下,深究金字塔的形貌特征,率先提出更优形貌的要求与方向,同时获得该类形貌;形貌包括:金字塔尺寸可调,大小相近且均匀,更大的高宽比,更大的比表面积。

主权项:1.一种形貌更优的单晶硅片制绒添加剂,其特征在于,添加剂成分作用及质量百分比含量如下:成核剂0.001~0.1wt%、主分散剂0.01~1wt%、辅助分散剂0.01~2wt%、脱泡剂5~50wt%、余量为去离子水。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 常州时创能源股份有限公司 一种形貌更优的单晶硅片制绒添加剂及单晶硅片制绒方法

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