申请/专利权人：中国科学院半导体研究所

申请日：2023-02-07

公开（公告）日：2023-05-05

公开（公告）号：CN116068295A

主分类号：G01R29/26

分类号：G01R29/26;G01R31/26

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.05.23#实质审查的生效;2023.05.05#公开

摘要：本公开提供了一种雪崩光电探测器过剩噪声因子测量系统及测量方法。该雪崩光电探测器过剩噪声因子测量系统包括：载物装置、光源、频谱仪、偏置器、源压表以及高频探针；载物装置用于放置待测器件，待测器件包括雪崩光电探测器芯片；光源用于向雪崩光电探测器芯片输出稳恒光以进行噪声测试；以及雪崩光电探测器芯片与偏置器相连，偏置器基于直流通路连接源压表，偏置器通过高频探针基于交流通路连接频谱仪，以形成噪声测试链路。

主权项：1.一种雪崩光电探测器过剩噪声因子测量系统，包括：载物装置、光源、频谱仪、偏置器、源压表以及高频探针；所述载物装置用于放置待测器件，所述待测器件包括雪崩光电探测器芯片；所述光源用于向所述雪崩光电探测器芯片输出稳恒光以进行噪声测试；以及所述雪崩光电探测器芯片与所述偏置器相连，所述偏置器基于直流通路连接所述源压表，所述偏置器通过所述高频探针基于交流通路连接所述频谱仪，以形成噪声测试链路。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院半导体研究所 雪崩光电探测器过剩噪声因子测量系统及测量方法

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