申请/专利权人：山东有研半导体材料有限公司;有研半导体硅材料股份公司

申请日：2022-12-02

公开（公告）日：2023-06-06

公开（公告）号：CN116219402A

主分类号：C23C16/455

分类号：C23C16/455;C23C16/44;C23C16/40

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.06.23#实质审查的生效;2023.06.06#公开

摘要：一种APCVD背封炉喷头的冷却装置及方法，冷却装置包括冷却主体和底板，二者之间通过若干支撑板固定连接；该冷却主体呈筒型，且横截面呈矩形；该冷却主体包括相对设置的两个第一侧板和两个第二侧板，且该第一侧板的长度大于该第二侧板的长度；各第一侧板顶面设有定位螺孔；该冷却主体内壁为中空，内部设有冷却盘管，该第二侧板外壁穿设有进水管和出水管，该冷却盘管的两端分别与该进水管和出水管的内端连接；该底板呈矩形，各支撑板两端分别与该第一侧板与该底板固定连接。本发明APCVD背封炉喷头的冷却装置及方法，能起到加快喷头冷却的作用，有利于提高喷头清洁效率。

主权项：1.一种APCVD背封炉喷头的冷却装置，其特征在于，包括冷却主体和底板，二者之间通过若干支撑板固定连接；该冷却主体呈筒型，且横截面呈矩形；该冷却主体包括相对设置的两个第一侧板和两个第二侧板，且该第一侧板的长度大于该第二侧板的长度；各第一侧板顶面设有定位螺孔；该冷却主体内壁为中空，内部设有冷却盘管，该第二侧板外壁穿设有进水管和出水管，该冷却盘管的两端分别与该进水管和出水管的内端连接；该底板呈矩形，各支撑板两端分别与该第一侧板与该底板固定连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 山东有研半导体材料有限公司;有研半导体硅材料股份公司 一种APCVD背封炉喷头的冷却装置及方法

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