申请/专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司

申请日：2023-02-02

公开（公告）日：2023-08-01

公开（公告）号：CN219449865U

主分类号：C23C16/448

分类号：C23C16/448

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.08.01#授权

摘要：本实用新型公开了热丝馈入装置以及卧式HWCVD设备。其中，该热丝馈入装置包括：两个紧固件，分别被安装到卧式HWCVD设备的镀膜腔的竖直方向的上部，所述紧固件具有热丝安装部和电源馈入部，所述热丝安装部设置为：在所述紧固件被安装到所述镀膜腔的竖直方向的上部的情况下，所述热丝安装部位于所述紧固件的竖直方向的下端；热丝，具有两个连接端部和中间部，两个所述连接端部分别相对于所述中间部被弯折；两个所述连接端部分别被紧固到所述热丝安装部，并经由所述电源馈入部与电源电连接；所述中间部在所述镀膜腔的竖直方向的上部沿水平方向延伸。根据本实用新型的热丝馈入装置，能够缩短热丝的长度，并抑制热丝断裂。

主权项：1.热丝馈入装置，其特征在于，包括：两个紧固件，分别被安装到卧式HWCVD设备的镀膜腔的竖直方向的上部，所述紧固件具有热丝安装部和电源馈入部，所述热丝安装部设置为：在所述紧固件被安装到所述镀膜腔的竖直方向的上部的情况下，所述热丝安装部位于所述紧固件的竖直方向的下端；热丝，具有两个连接端部和中间部，两个所述连接端部分别相对于所述中间部被弯折；两个所述连接端部分别被紧固到所述热丝安装部，并经由所述电源馈入部与电源电连接；所述中间部在所述镀膜腔的竖直方向的上部沿水平方向延伸。

全文数据：

权利要求：

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