申请/专利权人：中国科学院近代物理研究所

申请日：2023-05-16

公开（公告）日：2023-08-18

公开（公告）号：CN116613051A

主分类号：H01J37/32

分类号：H01J37/32;H05H1/46

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.09.05#实质审查的生效;2023.08.18#公开

摘要：本发明公开一种提高ECR离子源性能的微波耦合调节装置，涉及高功率微波与等离子体的耦合调节装置技术领域，且包括：波导管装置，内形成有波导通孔，波导管装置两端分别为输入端和辐射端，输入端适于与连通至ECR离子源的微波输入导管相连通，辐射端被配置为非对称切口结构而将自ECR离子源输至波导通孔的微波以预设角度馈入到ECR等离子体内，且辐射端适于相对于ECR等离子体移动而调节微波馈入位置。在本发明中，波导管装置能够直接馈入微波至ECR等离子体，辐射端为非对称切口结构可实现微波功率沿特定方向、以特定角度辐射出来，辐射端移动能够调节微波馈入位置，从而能够提高微波与ECR等离子体的耦合效率，并且提高ECR离子源性能。

主权项：1.一种提高ECR离子源性能的微波耦合调节装置，其特征在于，包括：波导管装置，内形成有波导通孔，所述波导管装置两端分别为输入端和辐射端，所述输入端适于与连通至ECR离子源的微波输入导管相连通，所述辐射端被配置为非对称切口结构而将自所述ECR离子源输至所述波导通孔的微波以预设角度馈入到ECR等离子体内，且所述辐射端适于相对于ECR等离子体移动而调节微波馈入位置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院近代物理研究所 提高ECR离子源性能的微波耦合调节装置

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