申请/专利权人：北方夜视科技(南京)研究院有限公司;江苏贵琂电子科技有限公司

申请日：2022-05-17

公开（公告）日：2023-08-29

公开（公告）号：CN114988710B

主分类号：C03C15/00

分类号：C03C15/00;H01J9/02;H01J43/24

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.08.29#授权;2022.09.20#实质审查的生效;2022.09.02#公开

摘要：本发明公开了一种采用有机油溶剂保护的利用酸溶剂刻蚀获得具有大开口面积比的喇叭口状的MCP的方法。在常规微通道板的腐蚀工序之后，微通道板的孔状通道阵列已完成，此时，增加一个有机油溶剂保护的酸溶液刻蚀的步骤，在一定量的酸溶液上加入密度更低的有机油溶剂得到分层的混合溶液，将MCP的输入面朝下放入混合溶液中，利用有机油溶剂保护MCP输入面外的部分，利用酸溶液对混合界面处的MCP输入端通道进行无定向的扩口腐蚀，由此可在MCP输入面获得喇叭口状的扩口结构。通过该方法得到的喇叭口通道能有效增加入射到通道内的电子数量，提高微通道板的探测效率，从而有利于提高MCP的增益。

主权项：1.一种采用有机油溶剂保护的利用酸溶剂刻蚀获得具有大开口面积比的喇叭口状的MCP的方法，其特征在于，在MCP在腐蚀完芯料玻璃之后、进行氢还原之前，将MCP输入面朝下置于上层为有机油溶剂、下层为一定浓度的酸溶液的混合溶液中，对朝向有机油溶剂和酸溶液界面处的MCP输入端表面进行一段时间的酸刻蚀，实现对MCP通道阵列的输入面进行刻蚀处理，获得具有大开口面积比的喇叭口状的MCP。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北方夜视科技(南京)研究院有限公司;江苏贵琂电子科技有限公司 采用有机油溶剂保护的利用酸溶剂刻蚀获得具有大开口面积比的喇叭口状的MCP的方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD