申请/专利权人：安徽光智科技有限公司

申请日：2023-06-25

公开（公告）日：2023-09-12

公开（公告）号：CN116730603A

主分类号：C03B33/08

分类号：C03B33/08;C03B33/06

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.09.29#实质审查的生效;2023.09.12#公开

摘要：本发明属于半导体技术领域，公开了一种退火石英管的开管工艺及其开管装置。开管装置包括底座和压盖，底座上设有弧形凹槽，底座包括硬底座和软底座，硬底座和软底座之间设置间隙，间隙将弧形凹槽分为位于硬底座上的第一弧形凹槽、位于软底座上的第二弧形凹槽；压盖包括与可翻转设置在硬底座上的硬压盖、设置在硬压盖端面的软压盖，软压盖上设置第三弧形凹槽；硬压盖翻转，带动软压盖对硬底座进行压合，第三弧形凹槽与第一弧形凹槽形成固定石英管的腔体。本发明开管装置结构简易，基于该开管装置的石英管开管工艺简单，可降低退火过程石英管开管取片难度，减少碎片率，减少半导体材料片表面污染，有效的节省了人工成本，提高生产效率。

主权项：1.一种开管装置，其特征在于，所述开管装置包括底座和压盖，所述底座上设有放置石英管的弧形凹槽，所述弧形凹槽水平设置；所述底座包括硬底座和软底座，所述硬底座和软底座之间设置间隙，所述弧形凹槽穿过所述间隙，且所述间隙将弧形凹槽分为位于硬底座上的第一弧形凹槽、位于软底座上的第二弧形凹槽；所述压盖包括与可翻转设置在硬底座上的硬压盖、设置在硬压盖端面的软压盖，所述软压盖上设置第三弧形凹槽；硬压盖翻转，带动软压盖对硬底座进行压合，所述第三弧形凹槽与第一弧形凹槽形成固定石英管的腔体。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 安徽光智科技有限公司 一种退火石英管的开管工艺及其开管装置

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