申请/专利权人：上海芯畀科技有限公司

申请日：2023-05-11

公开（公告）日：2023-10-27

公开（公告）号：CN219917084U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;B08B1/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.10.27#授权

摘要：本实用新型公开了一种浸蚀装置，包括底板，底板的顶部固定连接有浸蚀桶，浸蚀桶的外部固定连接有电机，浸蚀桶的内部转动连接有往复丝杆，往复丝杆与电机的输出端固定连接，往复丝杆的外部螺纹连接有滑块，滑块的内部开设有滑槽；本实用新型所达到的有益效果是：能够通过往复丝杆带动清理刷在浸蚀桶中前后往复移动，从而对浸蚀桶中的浸蚀液进行自动清理，并且在清理刷两侧的凸杆和浸蚀桶内部的凹槽的作用，使得清理刷向后移动时会挤压推动清理刷向上移动，使得清理刷向后移动的过程中，清理刷处于与浸蚀桶相分离的状态，从而有效防止了清理刷将浸蚀液清理到浸蚀桶最里面的位置的情况出现，确保了清理刷的清理效果。

主权项：1.一种浸蚀装置，包括底板1，所述底板1的顶部固定连接有浸蚀桶2，其特征在于：所述浸蚀桶2的外部固定连接有电机3，所述浸蚀桶2的内部转动连接有往复丝杆4，所述往复丝杆4与电机3的输出端固定连接，所述往复丝杆4的外部螺纹连接有滑块5，所述滑块5的内部开设有滑槽6，所述滑槽6的内部滑动连接有滑杆7，所述滑杆7与滑槽6之间设置有弹簧8，所述弹簧8的一端与滑块5固定连接，所述弹簧8的另一端与滑杆7固定连接，所述滑杆7的底部固定连接有清理刷9，所述清理刷9的对应两侧边均固定连接有凸杆10，所述浸蚀桶2的内部开设有与凸杆10配合使用的凹槽11，所述凹槽11的内部转动连接有转杆12，所述转杆12的外部远离浸蚀桶2的一端固定连接有挡板13，所述转杆12的外部且位于凹槽11与挡板13之间套设有扭簧14，所述扭簧14的一端与浸蚀桶2固定连接，所述扭簧14的另一端与挡板13固定连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海芯畀科技有限公司 一种浸蚀装置

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