申请/专利权人：瑞昌中建材光电材料有限公司

申请日：2023-08-02

公开（公告）日：2023-11-14

公开（公告）号：CN117059696A

主分类号：H01L31/18

分类号：H01L31/18;G06V20/40;G06V10/82;G06N3/0464;G06V20/52;G06V10/42;G06V10/80;H01L21/66;H01L31/0445

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.12.01#实质审查的生效;2023.11.14#公开

摘要：本申请涉及智能控制领域，其具体的公开了一种薄膜电池激光刻划集成光刻填充烘干方法及其系统，其通过光刻胶填充状态变化特征来表示在激光刻蚀槽内光刻胶填充的相关状态信息，并捕捉不同时间跨度内光刻胶流速值的高维隐含特征，以此利用两者之间的逻辑关联以得到光刻胶流速值的调控结果的分类表示。这样，基于在激光刻蚀槽内光刻胶填充状态来自适应调整光刻胶的流速以提高光刻胶的填充质量和效率，优化薄膜电池的制造过程。

主权项：1.一种薄膜电池激光刻划集成光刻填充烘干方法，其特征在于，包括：获取预定时间段激光刻蚀槽内的光刻胶填充监控视频以及所述预定时间段内多个预定时间点的光刻胶填充流速值；从所述预定时间段的光刻胶填充监控视频提取多个光刻胶填充监控关键帧；将所述多个光刻胶填充监控关键帧通过包含深浅融合模块的第一卷积神经网络模型以得到多个光刻胶填充监控特征矩阵；将所述多个光刻胶填充监控特征矩阵沿着样本维度聚合为三维特征张量后通过使用三维卷积核的第二卷积神经网络模型以得到光刻胶填充状态变化特征向量；将所述多个预定时间点的光刻胶填充流速值按照时间维度排列为填充流速输入向量后通过多尺度邻域特征提取模块以得到填充流速特征向量；计算所述光刻胶填充状态变化特征向量相对于所述填充流速特征向量的响应性估计以得到分类特征矩阵；对所述光刻胶填充状态变化特征向量和所述填充流速特征向量进行融合以得到融合特征向量；计算所述融合特征向量与所述分类特征矩阵之间的矩阵乘积以得到优化分类特征向量；将所述优化分类特征向量通过分类器以得到分类结果，所述分类结果用于表示当前时间点的填充流速值应增大或应减小。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 瑞昌中建材光电材料有限公司 薄膜电池激光刻划集成光刻填充烘干方法及其系统

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