申请/专利权人：芜湖映日科技股份有限公司

申请日：2023-08-07

公开（公告）日：2023-11-21

公开（公告）号：CN117088678A

主分类号：C04B35/01

分类号：C04B35/01;C04B35/622;C04B35/626;C04B35/63;C04B35/64;C23C14/08;C23C14/34

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.12.08#实质审查的生效;2023.11.21#公开

摘要：本发明涉及靶材技术领域，具体涉及一种稀土掺杂IZO靶材及其制备方法，该制备方法包括原料选择、一次球磨、二次球磨、喷雾造粒、压制成型和高温烧结等步骤。本发明使用多种稀土掺杂的工艺方式，同时优化了原料重量比、去离子水的使用量、固含量、粉末的粒径和密度，以及合理的高温烧结工艺，可获得具有高相对密度和小晶粒尺寸的大尺寸稀土掺杂IZO靶材。本发明提供的制备方法制备的大尺寸稀土掺杂IZO靶材适用于现代电子元器件的制备，具有广阔的应用前景。

主权项：1.一种稀土掺杂IZO靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1原料选择：原料按照重量份数包括以下组分：氧化铟粉末90份、氧化锌粉末6-10份、氧化镨粉末0.01-2份、三氧化二锰粉末0.01-2份，其中，氧化铟粉末的BET为10-12m2g，氧化锌粉末的BET为30-40m2g，氧化镨粉末的BET2.5-4m2g，三氧化二锰粉末的BET为11-13m2g；2一次球磨：在装有φ1-2mm锆珠的球磨罐中加入去离子水和氧化锌粉末，搅拌时间为16-24h，得到氧化锌浆料；3二次球磨：在氧化锌浆料中加入去离子水，再将氧化铟粉末、氧化镨粉末、三氧化二锰粉末倒入一起球磨，球磨时间为24-48h，得到稀土掺杂IZO浆料；4喷雾造粒：将稀土掺杂IZO浆料进行干燥机造粒，设置进风温度200-230℃，出风温度80-110℃，得到稀土掺杂IZO粉末；5压制成型：将稀土掺杂IZO粉末装入模具中进行等静压成型，成型压力300-400Mpa，得到面积≥1800cm2，厚度≥0.6cm的稀土掺杂IZO素胚；6高温烧结：将稀土掺杂IZO素胚放入常压氧气气氛高温烧结炉中进行烧结，烧结温度1400-1450℃，得到稀土掺杂IZO靶材。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 芜湖映日科技股份有限公司 一种稀土掺杂IZO靶材的制备方法

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