申请/专利权人：上海微世半导体有限公司

申请日：2023-06-06

公开（公告）日：2023-12-01

公开（公告）号：CN220116728U

主分类号：C30B25/14

分类号：C30B25/14

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.12.01#授权

摘要：本实用新型公开了一种LPCVD石英管法兰冷却结构，包括第一法兰与第二法兰，第一法兰内侧端面上具有两圈凸起的卡条并在两卡条之间形成圆形凹槽；第二法兰内侧端面也具有两圈凸起的卡条，第二法兰通过其卡条与第一法兰的卡条交错卡接，所述冷却结构还包括冷却水管道，所述冷却水管道嵌设于凹槽内。由于具有独立的冷却水管设计，可方便拆卸更换生成水垢的冷却水管，避免影响法兰的冷却效果及使用寿命。

主权项：1.一种LPCVD石英管法兰冷却结构，包括第一法兰与第二法兰，其特征在于：第一法兰内侧端面上具有两圈凸起的卡条并在两卡条之间形成圆形凹槽；第二法兰内侧端面也具有两圈凸起的卡条，第二法兰通过其卡条与第一法兰的卡条交错卡接，所述冷却结构还包括冷却水管道，所述冷却水管道嵌设于凹槽内。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海微世半导体有限公司 一种LPCVD石英管法兰冷却结构

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