申请/专利权人:长光卫星技术股份有限公司
申请日:2021-08-27
公开(公告)日:2024-01-12
公开(公告)号:CN113702002B
主分类号:G01M11/02
分类号:G01M11/02;G02B17/06
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.01.12#授权;2021.12.14#实质审查的生效;2021.11.26#公开
摘要:基于CGH补偿器的离轴三反相机的装调测试方法及系统涉及光学检测技术领域,解决了现有装调复杂的问题,方法包括:提供CGH补偿器安装第一反射镜,其包括补偿器基板,该基板一侧设有第一反射镜衍射区域、干涉仪衍射区域、第三反射镜衍射区域和激光跟踪仪靶球,利用激光跟踪仪和激光跟踪仪靶球等初步标定CGH补偿器位置通过干涉仪、干涉仪衍射区域和第一反射镜衍射区域对准干涉仪和装调第一反射镜;通过第三反射镜衍射区域和干涉仪装调第三反射镜;通过标准平面反射镜和干涉仪根据干涉仪测得的离轴三反相机光学系统波像差对次反射镜的空间位置进行调整。本发明能够满足对大幅宽、高分辨率、大口径的离轴三反相机在地面进行快速装调检测。
主权项:1.基于CGH补偿器的离轴三反相机的装调测试方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤一、提供CGH补偿器和第一反射镜,将所述第一反射镜安装在离轴三反相机主背板上,第一反射镜作为离轴三反相机光学系统的安装基准;所述CGH补偿器包括补偿器基板,所述补偿器基板的一侧上设有第一反射镜衍射区域、干涉仪衍射区域、第三反射镜衍射区域和第二激光跟踪仪靶球,第二激光跟踪仪靶球和补偿器基板可拆卸连接;将第一激光跟踪仪靶球安装在第一反射镜上;通过调整CGH补偿器使得第一反射镜衍射区域和第一反射镜相对应,利用激光跟踪仪、第二激光跟踪仪靶球和第一激光跟踪仪靶球,通过调整CGH补偿器位置,初步标定CGH补偿器位置和第一反射镜的相对位置;步骤二、提供干涉仪,调整CGH补偿器和干涉仪的位置,直至通过干涉仪衍射区域和干涉仪完成干涉仪的对准、通过第一反射镜衍射区域和干涉仪完成CGH补偿器位置的标定,CGH补偿器装调完毕;当干涉仪发出的测量光束经过干涉仪衍射区域返回到干涉仪,该光路的波像差满足使用要求且干涉仪上形成零条纹时,实现干涉仪的对准;当干涉仪发出的测量光束经过第一反射镜衍射区域和第一反射镜后返回到干涉仪,该光路的波像差满足使用要求且干涉仪上形成零条纹时,CGH补偿器位置的标定完成;步骤三、将第三反射镜安装到离轴三反相机主背板上,调整第三反射镜的空间位置,直至干涉仪发出的测量光束经过第三反射镜衍射区域衍射再经第三反射镜反射后原路返回至干涉仪发生干涉,该光路的波像差满足使用要求且干涉仪上形成零条纹,第三反射镜装调完毕;步骤四、移走CGH补偿器,安装第二反射镜,提供标准平面反射镜,调整干涉仪位置使得干涉仪焦点位于离轴三反相机光学系统的像面上,干涉仪出射测量光束,测量光束经离轴三反相机光学系统后入射到标准平面反射镜上,经标准平面反射镜反射后原路返回到干涉仪,干涉仪测得当前状态下离轴三反相机光学系统波像差,根据干涉仪测得的当前状态下相应视场的离轴三反相机光学系统波像差对第二反射镜的空间位置进行调整,直至离轴三反相机光学系统的波像差满足使用要求,第二反射镜装调完毕,离轴三反相机光学系统的装调和测试完成。
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