申请/专利权人：吉林大学

申请日：2023-10-19

公开（公告）日：2024-01-16

公开（公告）号：CN117406526A

主分类号：G02F1/313

分类号：G02F1/313

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.02.02#实质审查的生效;2024.01.16#公开

摘要：一种基于DC‑MZI结构的模式不敏感波导型热光开关，属于平面光波导器件技术领域。从下至上由硅衬底、二氧化硅下包层、聚合物芯层波导和聚合物上包层组成，聚合物芯层波导为MZI光波导结构，由S弯曲波导连接的第一输入直波导和第二输入直波导、第一耦合臂波导和第二耦合臂波导、第一移相器直波导和第二移相器直波导、第三耦合臂波导和第四耦合臂波导、第一输出直波导和第二输出直波导构成；在聚合物上包层之上，在与第一移相器直波导和第二移相器直波导对应的位置制备有第一金属调制电极和第二金属调制电极。本发明通过调整两端平行耦合臂直波导的间距和耦合长度，实现了开关对四种模式不敏感的输出功能，在模分复用应用领域具有重要意义。

主权项：1.一种基于DC-MZI结构的模式不敏感波导型热光开关，其特征在于：从下至上由硅衬底21、在硅衬底21上制备的二氧化硅下包层22、在二氧化硅下包层22上制备的聚合物芯层波导、在二氧化硅下包层22和聚合物芯层波导上制备的聚合物上包层26组成，聚合物芯层波导掩埋于聚合物上包层26之中；聚合物芯层波导为MZI光波导结构，沿光输入方向依次由相互平行的第一输入直波导1和第二输入直波导2、第一输入S弯曲波导3和第二输入S弯曲波导4、相互平行的第一耦合臂波导5和第二耦合臂波导6、第一输出S弯曲波导7和第二输出弯曲波导8、相互平行的第一移相器直波导9和第二移相器直波导10、第三输入S弯曲波导11和第四输入弯曲波导12、相互平行的第三耦合臂波导13和第四耦合臂波导14、第三输出S弯曲波导15和第四输出S弯曲波导16、相互平行的第一输出直波导17和第二输出直波导18构成；在聚合物上包层26之上，在与第一移相器直波导9和第二移相器直波导10对应的位置制备有相互平行的第一金属调制电极19和第二金属调制电极20；其中，第一输入直波导1、第二输入直波导2、第一输出直波导17和第二输出直波导18的结构尺寸相同；第一输入S弯曲波导3、第二输入S弯曲波导4、第一输出S弯曲波导7、第二输出弯曲波导8、第三输入S弯曲波导11、第四输入S弯曲波导12、第三输出S弯曲波导15、第四输出S弯曲波导16的结构尺寸相同；第一耦合臂波导5、第二耦合臂波导6、第三耦合臂波导13和第四耦合臂波导14的结构尺寸相同；第一移相器直波导9和第二移相器直波导10的结构尺寸相同；第一金属调制电极19和第二金属调制电极20的结构尺寸相同；第一输入直波导1和第二输入直波导2之间、第一移相器直波导9和第二移相器直波导10之间、第一输出直波导17和第二输出直波导18之间的间距相等；第一耦合臂波导5和第二耦合臂波导6之间、第三耦合臂波导13和第四耦合臂波导14之间的耦合间距相等。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 吉林大学 一种基于DC-MZI结构的模式不敏感波导型热光开关

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