申请/专利权人：西安科技大学;山东大学

申请日：2023-10-07

公开（公告）日：2024-01-16

公开（公告）号：CN117403181A

主分类号：C23C14/02

分类号：C23C14/02;C23C14/35;C23C14/14;C23C14/06

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.02.02#实质审查的生效;2024.01.16#公开

摘要：本发明公开了一种抗氧化型超硬自润滑多相纳米复合HfC‑SiCa‑C:H涂层及其制备方法，所述涂层由均匀镶嵌于非晶碳a‑C:H基质中的碳化铪HfC纳米晶和碳化硅SiC纳米晶构成，其中HfC纳米晶为面心立方结构，SiC纳米晶为密排六方结构。本发明通过引入第三相SiC纳米晶对传统HfCa‑C:H涂层进行结构调制，从而制备得到上述抗氧化型超硬自润滑多相纳米复合HfC‑SiCa‑C:H涂层：涂层中的多相纳米复合界面能够阻碍晶粒移动和变形、同时诱导非相干应变，大幅提高涂层的硬度和韧性；涂层中的SiC纳米晶一方面能够在在摩擦界面处促进含硅氧化膜的形成，增强涂层的自润滑功能，另一方面能够减少易于氧化逃逸的a‑C:H基质的比例、发挥内禀性阻氧作用、并致密化涂层表面的氧化皮结构，从而增强涂层的抗氧化性。

主权项：1.一种抗氧化型超硬自润滑多相纳米复合HfC-SiCa-C:H涂层，其特征在于，所述抗氧化型超硬自润滑多相纳米复合HfC-SiCa-C:H涂层由均匀镶嵌于非晶碳a-C:H基质中的碳化铪HfC纳米晶和碳化硅SiC纳米晶构成，所述涂层中HfC纳米晶为面心立方结构，SiC纳米晶为密排六方结构，非晶碳基质作为分隔HfC和SiC纳米晶之间的间隔填充相。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 西安科技大学;山东大学 抗氧化型超硬自润滑多相纳米复合HfC-SiC/a-C:H涂层及其制备方法

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