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【发明授权】自举高压隔离环结构_上海华虹宏力半导体制造有限公司_202110690530.3 

申请/专利权人:上海华虹宏力半导体制造有限公司

申请日:2021-06-22

公开(公告)日:2024-01-23

公开(公告)号:CN113506796B

主分类号:H01L27/02

分类号:H01L27/02

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.01.23#授权;2021.11.02#实质审查的生效;2021.10.15#公开

摘要:本申请涉及半导体集成电极制造技术领域,具体涉及一种自举高压隔离环结构。基底层,所述基底层包括包围在高压器件区外周的隔离环区,所述隔离环区包括相间隔的电平转换区和自举升压区,所述电平转换区位置处的基底层中形成电平转换器件,所述自举升压区位置处的基底层中形成自举升压器件;所述自举升压器件包括:源极部、漂移部和漏极部,所述漂移部相对的两侧分别连接所述源极部和所述漏极部,所述漏极部连接所述高压器件区;所述源极部位置处的基底层中形成源极结构和自举二极管,所述源极结构位于所述自举二极管中。

主权项:1.一种自举高压隔离环结构,其特征在于,所述自举高压隔离环结构包括:基底层,所述基底层包括包围在高压器件区外周的隔离环区,所述隔离环区包括相间隔的电平转换区和自举升压区,所述电平转换区位置处的基底层中形成电平转换器件,所述自举升压区位置处的基底层中形成自举升压器件;自举升压区为一端开口的半环状,所述自举升压区包围在所述高压器件区的外周,所述电平转换区位于所述自举升压区的开口位置,所述电平转换区的一端与所述高压器件区相邻;所述自举升压器件包括:源极部、漂移部和漏极部,所述漂移部相对的两侧分别连接所述源极部和所述漏极部,所述漏极部连接所述高压器件区;所述源极部位置处的基底层中形成源极结构和自举二极管,所述源极结构位于所述自举二极管中。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 上海华虹宏力半导体制造有限公司 自举高压隔离环结构

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