申请/专利权人：株式会社斯库林集团

申请日：2022-09-12

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117941035A

主分类号：H01L21/306

分类号：H01L21/306;H01L21/304

优先权：["20210914 JP 2021-149463"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：本发明的基板处理装置100具有：基板保持部120、处理液供给部130、成分存在量测定部140以及控制部22。控制部22包括：时间变化获取部22b，基于在从处理液供给部130开始向基板W供给处理液之后至结束之前的处理液供给期间内的特定期间，成分存在量测定部140测定到的基板W的特定成分的存在量，获取特定成分的存在量的时间变化；预测线制作部22c，基于时间变化获取部22b获取的特定成分的存在量的时间变化，制作预测处理液供给期间中的特定期间之后的基板W的特定成分的存在量的时间变化的预测线；以及处理条件变更部22d，基于预测线，在停止处理液的供给之前变更用于处理基板的基板处理条件。

主权项：1.一种基板处理装置，其中，具有：基板保持部，保持基板；处理液供给部，将处理液供给至所述基板；成分存在量测定部，测定所述基板的特定成分的存在量；以及控制部，控制所述基板保持部、所述处理液供给部以及所述成分存在量测定部；所述控制部包括：时间变化获取部，基于在从所述处理液供给部开始向所述基板供给所述处理液之后至结束之前的处理液供给期间内的特定期间，所述成分存在量测定部测定到的所述基板的所述特定成分的存在量，获取所述特定成分的所述存在量的时间变化；预测线制作部，基于所述时间变化获取部获取的所述特定成分的所述存在量的时间变化，制作预测所述处理液供给期间中的所述特定期间之后的所述基板的特定成分的存在量的时间变化的预测线；以及处理条件变更部，基于所述预测线，在停止处理液的供给之前变更用于处理基板的基板处理条件。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社斯库林集团 基板处理装置以及基板处理方法

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