申请/专利权人：上海华力集成电路制造有限公司

申请日：2021-11-30

公开（公告）日：2024-01-23

公开（公告）号：CN114114852B

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.01.23#授权;2022.03.18#实质审查的生效;2022.03.01#公开

摘要：本发明公开了一种对通孔层图形进行分类，对不同类型的图形采用不同的预设规则来识别断线热点。现有技术相比，本发明通过对通孔层图形进行分类，并设定不同的预设规则来识别断线热点，降低了漏识别的风险，提高了修复的效率和针对性。

主权项：1.一种OPC修正中通孔层断线热点评估方法，其特征在于：对通孔层图形进行分类，对不同类型的图形采用不同的预设规则来识别断线热点;把所述通孔层图形分为三个类型；若所述通孔层图形的长宽比大于4，所述通孔层图形定义为第一类型图形；若所述通孔层图形的长宽比小于2，所述通孔层图形定义为第二类型图形；若所述通孔层图形的长宽比为2至4，所述通孔层图形定义为第三类型图形。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海华力集成电路制造有限公司 OPC修正中通孔层断线热点评估方法

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