申请/专利权人：广东先导先进材料股份有限公司

申请日：2023-12-13

公开（公告）日：2024-01-30

公开（公告）号：CN117463691A

主分类号：B08B3/08

分类号：B08B3/08;B08B3/12;B08B3/02;B08B1/12;B08B1/32

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.02.20#实质审查的生效;2024.01.30#公开

摘要：提供一种蓝宝石晶片退火前清洗方法，所述蓝宝石晶片退火前清洗方法至少适用于8英寸的蓝宝石晶片表面碳化硼研磨后且在退火前的清洗，所述蓝宝石晶片退火前清洗方法包括步骤：S1，采用碱性金属清洗剂配制成的水溶液超声清洗；S2，采用去离子水超声清洗；S3，将蓝宝石晶片置于纯水中双面刷洗，刷洗过程中保持冲水；S4，采用酸溶液超声清洗；S5，采用去离子水双面冲洗蓝宝石晶片，同时转动蓝宝石晶片；S6，采用碱溶液超声清洗；S7，采用去离子水双面冲洗蓝宝石晶片，同时转动蓝宝石晶片；S8，采用去离子水超声清洗；S9，采用去离子水双面冲洗蓝宝石晶片，同时转动蓝宝石晶片；S10，将蓝宝石晶片放置在自动甩干机中甩干。

主权项：1.一种蓝宝石晶片退火前清洗方法，其特征在于，所述蓝宝石晶片退火前清洗方法至少适用于8英寸的蓝宝石晶片表面碳化硼研磨后且在退火前的清洗，所述蓝宝石晶片退火前清洗方法包括步骤：S1，采用碱性金属清洗剂配制成的水溶液超声清洗；S2，采用去离子水超声清洗；S3，将蓝宝石晶片置于纯水中双面刷洗，刷洗过程中保持冲水；S4，采用酸溶液超声清洗；S5，采用去离子水双面冲洗蓝宝石晶片，同时转动蓝宝石晶片；S6，采用碱溶液超声清洗；S7，采用去离子水双面冲洗蓝宝石晶片，同时转动蓝宝石晶片；S8，采用去离子水超声清洗；S9，采用去离子水双面冲洗蓝宝石晶片，同时转动蓝宝石晶片；S10，将蓝宝石晶片放置在自动甩干机中甩干。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广东先导先进材料股份有限公司 蓝宝石晶片退火前清洗方法

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