申请/专利权人：FEI 公司

申请日：2023-08-08

公开（公告）日：2024-02-09

公开（公告）号：CN117542713A

主分类号：H01J37/153

分类号：H01J37/153;G01Q30/02;G01Q30/06;H01J37/28

优先权：["20220808 US 17/883485"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.02.09#公开

摘要：根据本发明的包括分裂多极的用于带电粒子柱的光学校正器模块包括至少一个分裂多极，该分裂多极由间隔距离小于10mm、1m、100μm和或10μm的两个多极组成。各个多极中的每一个多极可包括至少两个电极，这两个电极被定位成部分地限定通过该多极的束路径。根据本发明，这些电极中的每一个电极包括：第一表面，当用于该带电粒子柱中时，该第一表面面向带电粒子束的上游；以及第二表面，当用于该带电粒子柱中时，该第二表面面向该带电粒子束的下游，其中对于这些电极中的每一个电极，该第一表面与该第二表面之间的厚度小于10mm、5mm和或3mm。在本公开的范围内，这些分裂多极可以是静电的并且可对应于六极。

主权项：1.一种用于带电粒子柱的光学校正器模块，所述光学校正器模块包括：分裂六极，所述分裂六极由间隔距离小于100mm的两个六极组成，各个六极包括：至少两个电极，所述至少两个电极被定位成部分地限定穿过所述六极的束路径，其中所述电极中的每一个电极包括：第一表面，当用于所述带电粒子柱中时，所述第一表面面向带电粒子束的上游；和第二表面，当用于所述带电粒子柱中时，所述第二表面面向所述带电粒子束的下游，其中所述电极中的每一个电极的所述第一表面与所述第二表面之间的厚度小于10mm。

全文数据：

权利要求：

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