申请/专利权人：泰州隆基乐叶光伏科技有限公司

申请日：2023-08-18

公开（公告）日：2024-02-13

公开（公告）号：CN117551982A

主分类号：C23C16/44

分类号：C23C16/44

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.15#实质审查的生效;2024.02.13#公开

摘要：本发明公开一种LPCVD设备的炉管更换方法、装置以及系统，涉及石英炉管更换技术领域，以提供一种能够在高温条件下对LPCVD设备的炉管进行更换的技术方案。包括以下步骤：当双层炉管结构满足预设条件时，驱动碳化硅桨组件移动至双层炉管结构的待更换内管中；通过碳化硅桨组件将待更换内管移动至双层炉管结构外，并将待更换内管转移至炉管升降承载机构中；控制炉管升降承载机构，将待更换内管降低至第一目标位置，从炉管升降承载机构中取出待更换内管；将替换内管放置到炉管升降承载机构中，通过炉管升降承载机构将替换内管升高至第二目标位置；通过碳化硅桨组件带动替换内管运动至双层炉管的外管中，并将替换内管放置到外管中，完成炉管的更换。

主权项：1.一种LPCVD设备的炉管更换方法，其特征在于，所述LPCVD设备具有双层炉管结构和碳化硅桨组件，所述LPCVD设备的炉管更换方法包括以下步骤：当所述双层炉管结构满足预设条件时，驱动所述碳化硅桨组件移动至所述双层炉管结构的待更换内管中；通过所述碳化硅桨组件将所述待更换内管移动至所述双层炉管结构外，并将所述待更换内管转移至炉管升降承载机构中；控制所述炉管升降承载机构，将所述待更换内管降低至第一目标位置，从所述炉管升降承载机构中取出所述待更换内管；将替换内管放置到所述炉管升降承载机构中，通过所述炉管升降承载机构将所述替换内管升高至第二目标位置；通过所述碳化硅桨组件带动所述替换内管运动至所述双层炉管的外管中，并将所述替换内管放置到所述外管中，完成炉管的更换。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 泰州隆基乐叶光伏科技有限公司 一种LPCVD设备的炉管更换方法、装置以及系统

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