申请/专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司

申请日：2023-11-24

公开（公告）日：2024-02-27

公开（公告）号：CN117604496A

主分类号：C23C16/448

分类号：C23C16/448;C23C16/458

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.15#实质审查的生效;2024.02.27#公开

摘要：本发明公开了一种立式HWCVD设备，包括：传输机构，包括传输组件以及驱动组件，传输组件具有传动轮，传动轮的轴向与传输组件的运输方向垂直，传动轮固定连接有与传动轮的轴线平行设置的传动杆，驱动组件设有传动孔，传动杆穿设于传动孔内、以使传输组件能够相对于驱动组件沿传动杆的轴向移动，驱动组件用于驱动传动杆转动、以使传动轮绕传动轮的轴线转动而使传输组件运行；热丝组件，与传输组件正上方的空间并列设置，且热丝组件与传输组件正上方的空间的排布方向平行于传动杆的轴向；距离调节机构，与传输组件驱动连接、并用于驱动传输组件沿传动杆的轴向移动。

主权项：1.一种立式HWCVD设备，其特征在于，包括：传输机构，包括传输组件以及驱动组件，所述传输组件具有传动轮，所述传动轮的轴向与所述传输组件的运输方向垂直，所述传动轮固定连接有与所述传动轮的轴线平行设置的传动杆，所述驱动组件设有传动孔，所述传动杆穿设于所述传动孔内、以使所述传输组件能够相对于所述驱动组件沿所述传动杆的轴向移动，所述驱动组件用于驱动所述传动杆转动、以使所述传动轮绕所述传动轮的轴线转动而使所述传输组件运行；热丝组件，与所述传输组件正上方的空间并列设置，且所述热丝组件与所述传输组件正上方的空间的排布方向平行于所述传动杆的轴向；距离调节机构，与所述传输组件驱动连接、并用于驱动所述传输组件沿所述传动杆的轴向移动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 立式HWCVD设备

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD