申请/专利权人：中国科学技术大学

申请日：2023-11-29

公开（公告）日：2024-02-27

公开（公告）号：CN117602576A

主分类号：B81C1/00

分类号：B81C1/00;B82Y40/00;G03F7/20

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.15#实质审查的生效;2024.02.27#公开

摘要：本公开提出了一种金刚石NV色心纳米柱规则阵列的制作方法，包括：对金刚石表面进行预处理，得到预处理后的金刚石表面；在预处理后的金刚石表面进行第一次套刻处理，构建金属标志物；在金属标志物区域内的金刚石表面进行第二次套刻处理，以在二维平面确定NV色心规则阵列位置，然后通过氮离子注入，形成NV色心规则阵列；在NV色心规则阵列上进行第三次套刻处理，形成金属掩膜层，以控制氮离子注入深度；在金属掩膜层进行刻蚀，得到金刚石NV色心纳米柱规则阵列。

主权项：1.一种金刚石NV色心纳米柱规则阵列的制作方法，包括：对金刚石表面进行预处理，得到预处理后的金刚石表面；在所述预处理后的金刚石表面进行第一次套刻处理，构建金属标志物；在所述金属标志物区域内的金刚石表面进行第二次套刻处理，以在二维平面确定NV色心规则阵列位置，然后通过氮离子注入，形成NV色心规则阵列；在所述NV色心规则阵列上进行第三次套刻处理，形成金属掩膜层，以控制氮离子注入深度；在所述金属掩膜层进行刻蚀，得到金刚石NV色心纳米柱规则阵列。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学技术大学 金刚石NV色心纳米柱规则阵列的制作方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD