申请/专利权人：中国科学院近代物理研究所

申请日：2023-10-16

公开（公告）日：2024-03-01

公开（公告）号：CN117627893A

主分类号：F04B37/14

分类号：F04B37/14;F04B53/16;F04B51/00;F04B49/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.19#实质审查的生效;2024.03.01#公开

摘要：本发明涉及真空泵的使用方法技术领域，提供了一种钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置及方法，其中装置包括：钛升华泵、电阻检测模块和电流调节模块，钛升华泵内设置有泵芯，泵芯包括并联的灯丝和回路金属棒；电阻检测模块的一端分别与灯丝和回路金属棒连接，另一端与电流调节模块连接，用于检测灯丝与回路金属棒之间的实际电阻，并发送至电流调节模块；电流调节模块与泵芯连接，基于预设电阻与实际电阻进行比对得到比对结果，根据比对结果调节输出电流的电流值，并将输出电流传递至泵芯。本申请提供的装置通过精确调节电流提高除气以及升华效果，能够提高钛升华泵的工作稳定性和效率，使其维持在长期稳定的工作状态。

主权项：1.一种钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置，其特征在于，包括：钛升华泵、电阻检测模块和电流调节模块；所述钛升华泵内设置有泵芯2，所述泵芯2包括灯丝和回路金属棒24，所述灯丝与所述回路金属棒24并联连接；所述电阻检测模块的一端分别与所述灯丝和所述回路金属棒24连接，所述电阻检测模块的另一端与所述电流调节模块连接，所述电阻检测模块用于检测所述灯丝与所述回路金属棒24之间的实际电阻，并将所述实际电阻发送至所述电流调节模块；所述电流调节模块还与所述泵芯2连接，所述电流调节模块基于预设电阻与所述实际电阻进行比对得到比对结果，根据所述比对结果调节输出电流的电流值，并将所述输出电流传递至所述泵芯2。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院近代物理研究所 钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置及方法

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