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【发明公布】一种宽温区高储能效率PZT-BFO铁电薄膜材料的制备方法_贺州学院_202311609929.X 

申请/专利权人:贺州学院

申请日:2023-11-29

公开(公告)日:2024-03-01

公开(公告)号:CN117637347A

主分类号:H01G4/33

分类号:H01G4/33;H01G4/30

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.03.19#实质审查的生效;2024.03.01#公开

摘要:一种宽温区高储能效率PZT‑BFO铁电薄膜材料的制备方法,属于电子功能材料与器件领域。本发明是将PZT‑BFO前驱体溶液旋涂于衬底上制得PZT‑BFO湿膜;所得湿膜干燥、热解、退火制得单层PZT‑BFO薄膜;重复前两个步骤,制得多层PZT‑BFO薄膜。本发明的有益效果是获得具有纯度高、致密性好、平均晶粒尺寸小、电场击穿强度大、储能密度值大、储能效率高和热稳定性良好等优点的薄膜。

主权项:1.一种宽温区高储能效率PZT-BFO铁电薄膜材料的制备方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:1将PZT-BFO前驱体溶液旋涂于衬底上制得PZT-BFO湿膜;2将步骤1所得湿膜干燥、热解、退火制得单层PZT-BFO薄膜;3重复步骤1和步骤2,制得多层PZT-BFO薄膜。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 贺州学院 一种宽温区高储能效率PZT-BFO铁电薄膜材料的制备方法

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