申请/专利权人：江苏汇成光电有限公司

申请日：2020-12-24

公开（公告）日：2024-03-12

公开（公告）号：CN112635366B

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.12#授权;2021.04.27#实质审查的生效;2021.04.09#公开

摘要：本发明公开了一种UV机晶圆铁框定位装置，包括UV机照射平台本体、限位槽和紧固块，所述UV机照射平台本体的内部底部安装有照射镜片，且照射镜片的外侧安装有连接框架，所述限位槽开设在连接框架的底部位置，且连接框架的顶部固定安装有固定板，所述紧固块在连接框架的顶部内部左右两端均有镶嵌安装，所述照射镜片的上方安装有限位块，且照射镜片的内部开设有第一固定槽，所述第一固定槽的外侧连接有第一放置槽，且第一放置槽的底部连接有连接槽，所述限位块的上方安装有定位铁框，且定位铁框的底部连接有连接块。该UV机晶圆铁框定位装置，不仅不易使得晶圆铁框翘起，方便对晶圆铁框进行拆卸，而且不易使得该装置的表面落灰。

主权项：1.一种UV机晶圆铁框定位装置，包括UV机照射平台本体1、限位槽4和紧固块5，其特征在于：所述UV机照射平台本体1的内部底部安装有照射镜片2，且照射镜片2的外侧安装有连接框架3，所述限位槽4开设在连接框架3的底部位置，且连接框架3的顶部固定安装有固定板24，所述紧固块5在连接框架3的顶部内部左右两端均有镶嵌安装，所述照射镜片2的上方安装有限位块6，且照射镜片2的内部开设有第一固定槽7，所述第一固定槽7的外侧连接有第一放置槽8，且第一放置槽8的底部连接有连接槽9，所述限位块6的上方安装有定位铁框10，且定位铁框10的底部连接有连接块11，所述定位铁框10的顶部镶嵌安装有承载块12，所述连接框架3的前侧开设有第二承载槽26，且第二承载槽26的内部开设有第一限位孔13，所述连接框架3的中心位置设置有固定孔14，所述限位块6的中心位置设置有连接孔15，且限位块6的上方安装有橡胶盖板16，所述橡胶盖板16的底部连接有橡胶底板17，且橡胶盖板16的顶部安装有提拉装置18，所述定位铁框10的中心位置开设有第一放置孔19，且定位铁框10的左右两端均开设有第二固定槽20，所述UV机照射平台本体1的内部底部开设有第一承载槽21，且UV机照射平台本体1的内部底顶部开设有第二限位孔22，所述橡胶盖板16的顶部中心位置开设有第二放置槽23，且第二放置槽23的左右两侧均开设有第二放置孔25，所述第一限位孔13的内部贯穿安装有紧固杆27。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏汇成光电有限公司 一种UV机晶圆铁框定位装置

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