申请/专利权人：苏州德龙激光股份有限公司

申请日：2023-08-18

公开（公告）日：2024-03-12

公开（公告）号：CN220585197U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/677

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.12#授权

摘要：本实用新型涉及一种晶圆规整寻址收料装置，包括晶圆寻址收料组件，晶圆寻址收料组件包括晶圆寻址支撑架、晶圆寻址运动板、晶圆寻址伺服电机、料盒支撑板、料盒、晶圆寻址带传动机构和晶圆寻址丝杆传动机构；在晶圆寻址收料组件沿着Y轴负方向的一侧设置有晶圆规整组件；晶圆规整组件包括顶升电缸、规整后支撑组件、规整执行组件、规整左连杆组件和规整右连杆组件。本实用新型通过晶圆规整组件对带钢环的晶圆进行规整，使得带钢环的晶圆与晶圆料盒正对，方便后续带钢环的晶圆进入料盒。

主权项：1.一种晶圆规整寻址收料装置，包括晶圆寻址收料组件2，所述晶圆寻址收料组件2包括晶圆寻址支撑架31、晶圆寻址运动板33、晶圆寻址伺服电机35、料盒支撑板36、料盒37、晶圆寻址带传动机构38和晶圆寻址丝杆传动机构39，所述晶圆寻址支撑架31底部一侧的晶圆寻址伺服电机35可通过晶圆寻址带传动机构38和晶圆寻址丝杆传动机构39驱动晶圆寻址运动板33在晶圆寻址支撑架31上沿着Z轴方向移动，所述晶圆寻址运动板33上的料盒支撑板36安装有用于存放晶圆9的料盒37；其特征在于：在所述晶圆寻址收料组件2沿着Y轴负方向的一侧设置有晶圆规整组件1；所述晶圆规整组件1包括顶升电缸3、规整后支撑组件5、规整执行组件6、规整左连杆组件7和规整右连杆组件8；所述顶升电缸3通过电缸安装座4安装在规整后支撑组件5上，所述顶升电缸3可驱动规整执行组件6在规整后支撑组件5上沿着Z轴方向移动，所述规整执行组件6的上方沿着X轴的正方向依次设置有规整左连杆组件7和规整右连杆组件8，所述规整执行组件6可同步驱动上方的规整左连杆组件7和规整右连杆组件8沿着X轴方向移动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州德龙激光股份有限公司 一种晶圆规整寻址收料装置

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