申请/专利权人：埃地沃兹有限公司

申请日：2022-07-28

公开（公告）日：2024-03-15

公开（公告）号：CN117716175A

主分类号：F23G7/06

分类号：F23G7/06

优先权：["20210730 GB 2110995.4"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.02#实质审查的生效;2024.03.15#公开

摘要：公开了一种用于减排设备的入口头部组件。该入口头部组件用于减排设备，该减排设备用于对来自半导体加工工具的流出流进行减排，该入口头部组件包括：入口头部；先导喷嘴，其在入口头部内延伸并被构造成向减排设备的下游减排室供应至少一个先导燃烧试剂流；以及多个入口喷嘴，每个入口喷嘴在入口头部内延伸并被构造成在减排室内供应相关联的流出流以进行减排，所述多个入口喷嘴围绕先导喷嘴定位。以这种方式，流出流围绕先导喷嘴更紧密地聚拢在一起，这改进了对流出流的加热，从而改进DRE并减少热量损失，这使得能够减少需要供应的燃烧试剂。

主权项：1.一种用于减排设备的入口头部组件，所述减排设备用于对来自半导体加工工具的流出流进行减排，所述入口头部组件包括：入口头部；先导喷嘴，所述先导喷嘴在所述入口头部内延伸并被构造成向所述减排设备的下游减排室供应至少一个先导燃烧试剂流；以及多个入口喷嘴，每个入口喷嘴在所述入口头部内延伸、相对于所述先导喷嘴的轴向取向成介于5°和60°之间、优选地介于5°和45°之间且更优选地5°和20°之间的角度，并且被构造成在所述减排室内供应相关联的流出流以进行减排，所述多个入口喷嘴围绕所述先导喷嘴定位。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 埃地沃兹有限公司 入口头部组件

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