申请/专利权人：宁波伏尔肯科技股份有限公司

申请日：2023-12-29

公开（公告）日：2024-03-15

公开（公告）号：CN117712018A

主分类号：H01L21/687

分类号：H01L21/687;H01L21/673;H01L31/18

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.02#实质审查的生效;2024.03.15#公开

摘要：本发明提供了一种碳化硅石英复合舟托，包括舟托主体和多个舟脚，所述舟托主体的材质为碳化硅，所述舟脚的材质为石英，所述舟托主体的底部设有多个支座，所述舟脚数量与所述支座相同，所述支座上设有装配缺口，所述舟脚设置在所述装配缺口对应位置并与所述支座固定连接。本发明设计了一种碳化硅石英复合材料的舟托，舟托主体为碳化硅材料，材料热稳定性能好，使用寿命长；舟托与石英炉管接触的舟脚采用石英材料，由石英舟脚与石英炉管同材质接触，可以有效防止舟脚损伤炉管，从而避免出现损伤部位应力集中的问题，保证石英炉管的使用寿命。

主权项：1.一种碳化硅石英复合舟托，其特征在于，包括舟托主体1和多个舟脚2，所述舟托主体1的材质为碳化硅，所述舟脚2的材质为石英，所述舟托主体的底部设有多个支座13，所述舟脚2数量与所述支座13相同，所述支座13上设有装配缺口14，所述舟脚2设置在所述装配缺口14对应位置并与所述支座13固定连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 宁波伏尔肯科技股份有限公司 一种碳化硅石英复合舟托

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