申请/专利权人:宁波合盛新材料有限公司
申请日:2024-02-06
公开(公告)日:2024-03-15
公开(公告)号:CN117702259A
主分类号:C30B23/00
分类号:C30B23/00;C30B29/36;F27D9/00
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.02#实质审查的生效;2024.03.15#公开
摘要:本申请公开了一种PVT炉快速降温的方法,包括以下步骤:S1:PVT炉停止加热,向PVT炉内充入冷却气体,冷却气体为氦气,控制PVT炉内压强,直至PVT炉的温度不超过50℃;S2:完成降温,向PVT炉内充入惰性气体,直至PVT炉内压力达到大气压,取出坩埚。本申请的PVT炉快速降温的方法,能够大幅缩短PVT炉降至常温的时间,从而提高生产效率。
主权项:1.一种PVT炉快速降温的方法,其特征在于,包括以下步骤:S1:PVT炉停止加热,向所述PVT炉内充入冷却气体,所述冷却气体为氦气,控制所述PVT炉内压强,直至所述PVT炉的温度不超过50℃;S2:完成降温,向所述PVT炉内充入惰性气体,直至所述PVT炉内压力达到大气压,取出坩埚。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 宁波合盛新材料有限公司 一种PVT炉快速降温的方法
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