申请/专利权人：埃地沃兹有限公司

申请日：2022-07-07

公开（公告）日：2024-03-15

公开（公告）号：CN117716174A

主分类号：F23G7/06

分类号：F23G7/06;F23D14/12;F23D14/02;B01D53/70

优先权：["20210713 GB 2110053.2"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.02#实质审查的生效;2024.03.15#公开

摘要：公开了入口喷嘴组件、消减设备和方法。所述入口喷嘴组件用于用来处理来自半导体加工工具的流出物流的消减设备，所述入口喷嘴组件包括：入口喷嘴，其被构造成将流出物流输送到消减室；头部，其限定用于接收入口喷嘴的孔口；以及绝缘安装件，其被构造成将入口喷嘴固持在孔口内。以这种方式，入口喷嘴和头部之间的热路径由绝缘安装件中断，这有助于防止入口喷嘴被头部冷却，从而有助于防止冷凝物在入口喷嘴上聚集为粉末或颗粒。

主权项：1.一种用于处理来自半导体加工工具的流出物流的消减设备的入口喷嘴组件，所述入口喷嘴组件包括：入口喷嘴，其被构造成将所述流出物流输送到消减室；头部，其限定用于接收所述入口喷嘴的孔口；和绝缘安装件，其被构造成将所述入口喷嘴固持在所述孔口内。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 埃地沃兹有限公司 用于消减设备的入口喷嘴组件

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