申请/专利权人：奥西里斯国际有限公司

申请日：2022-07-15

公开（公告）日：2024-03-15

公开（公告）号：CN117716482A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/02;H01J37/32

优先权：["20210715 DE 102021118379.0","20220712 DE 102022117344.5"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.15#公开

摘要：本发明涉及一种用于对有棱角的基体2进行去涂层的设备，所述设备具有去涂层头3.1、3.2和移动装置5，应能够在工作轨道中沿所述基体2的一个基体纵边4.1、4.2、4.3、4.4引导所述去涂层头3.1、3.2。

主权项：1.用于对有棱角的基体2进行去涂层的设备，所述设备具有去涂层头3.1、3.2和移动装置5，其特征在于，能够在工作轨道中沿所述基体2的一个基体纵边4.1、4.2、4.3、4.4引导所述去涂层头3.1、3.2。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 奥西里斯国际有限公司 用于对有棱角的基体进行去涂层的设备

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