申请/专利权人：平煤隆基新能源科技有限公司

申请日：2022-10-28

公开（公告）日：2024-03-15

公开（公告）号：CN220604697U

主分类号：H01L31/0216

分类号：H01L31/0216;H01L31/0232;H01L31/054

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.15#授权

摘要：本实用新型公开了一种降低双面PERC电池EL发黑的背膜结构，涉及太阳能电池设备技术领域，包括双面PERC电池片，所述双面PERC电池片经制绒、扩散、SE、刻蚀、退火工序后，背面依次沉积有氧化铝膜、氧化硅膜、复合式多层氮化硅膜，该氧化硅膜可有效降低硅片背面缺陷，改善因高折的氮化硅膜H键脱出过程带来的EL发黑问题，保证电池片光电转换效率有提升的前提下，提升产线电池片良率，利用本实用新型双面PERC电池背膜结构制备的电池片光电转换效率以及双面率有明显提高，同时组件PID可靠性合格。

主权项：1.一种降低双面PERC电池EL发黑的背膜结构，包括双面PERC电池片，其特征在于：所述双面PERC电池片的背面依次沉积设置有氧化铝膜、氧化硅膜、复合式多层氮化硅膜，所述复合式多层氮化至少包括依次设置的氮化硅膜一、氮化硅膜二、氮化硅膜三；所述氮化硅膜一的厚度20±5nm、折射率2.45±0.1，氮化硅膜二的厚度25±5nm、折射率2.15±0.1，氮化硅膜三的厚度35±5nm、折射率2.10±0.1；所述氧化铝膜厚度1～6nm；所述氧化硅膜的厚度1～6nm、折射率1.5～1.8。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 平煤隆基新能源科技有限公司 一种降低双面PERC电池EL发黑的背膜结构

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