申请/专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司

申请日：2023-08-29

公开（公告）日：2024-03-15

公开（公告）号：CN220603850U

主分类号：G03F7/30

分类号：G03F7/30

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.15#授权

摘要：本实用新型提供一种涂胶显影设备，包括沿水平方向依次排列的片盒模块、层间工艺模块和第一工艺模块；所述第一工艺模块中各个涂胶工艺层由底向上依次层叠设置；层间工艺模块和第一工艺模块之间设有穿墙式光学检测单元，包括第二穿墙部、光源和摄像机；所述第二穿墙部的第一端固定，所述第二穿墙部的第二端相对于第一端活动，用于传输晶圆；所述光源用于向晶圆表面投射光线，摄像机用于接收经过晶圆表面反射的光线，以实现对晶圆的光学检测。该设备用于提升涂胶显影设备生产效率。

主权项：1.一种涂胶显影设备，其特征在于，包括沿水平方向依次排列的片盒模块、层间工艺模块和第一工艺模块；所述第一工艺模块中各个涂胶工艺层由底向上依次层叠设置；层间工艺模块和第一工艺模块之间设有穿墙式光学检测单元，包括第二穿墙部、光源和摄像机；所述第二穿墙部的第一端固定，所述第二穿墙部的第二端相对于第一端活动，用于传输晶圆；所述光源用于向晶圆表面投射光线，摄像机用于接收经过晶圆表面反射的光线，以实现对晶圆的光学检测。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 涂胶显影设备

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