申请/专利权人：中国计量科学研究院

申请日：2023-12-15

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117722961A

主分类号：G01B11/02

分类号：G01B11/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：本发明公开了一种高横向分辨能力的色散共焦位移测量方法，在色散共焦系统的出射光路上设置有光学薄膜，利用横向色散偏移，使得在被测位置能够产生两个不同直径和波长的光斑，进而提高色散共焦系统的横向分辨率，本发明通过在聚焦物镜前端不同区域加入不同厚度的光学薄膜，当光束经过光学薄膜光路会发生偏移产生两个不同直径的光斑，利用这两个光斑同时进行测量，使得系统具有更高的横向灵敏度。

主权项：1.一种高横向分辨能力的色散共焦位移测量方法，其特征在于：在色散共焦系统的出射光路上设置有光学薄膜，利用横向色散偏移，使得在被测位置能够产生两个不同直径和波长的光斑，进而提高色散共焦系统的横向分辨率,包括以下步骤：A色散共焦系统出射的光经过了所述光学薄膜，使得光束向下平移在被测物表面形成直径、波长不同的第一光斑和第二光斑；B.通过光谱仪采集所述被测物表面漫反射的探测光束的探测光谱信号；C对所述探测光谱信号进行处理确定光谱信号中的峰值；D根据光谱信号的峰值标定两个色谱波长-轴向位移关系；E通过标定的两个所述色谱波长-轴向位移关系及两套色散位移关系的相对限制，重新校准出位移-波长之间的关系，解码所述被测物的信息。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国计量科学研究院 一种高横向分辨能力的色散共焦位移测量方法

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