申请/专利权人：华海清科股份有限公司

申请日：2023-12-29

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117718878A

主分类号：B24B37/11

分类号：B24B37/11;B24B37/27;B24B37/34

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：本申请提供一种抛光头及化学机械抛光设备。抛光头包括：抛光头主体、弹性气膜、第一夹紧装置和第二夹紧装置，抛光头主体沿轴向上的一端形成有安装空间，弹性气膜设置在安装空间内，且弹性气膜形成侧膜和远离安装空间底部的底膜；第一夹紧装置与侧膜的内侧面接触，第二夹紧装置与侧膜的外侧面接触，第一夹紧装置和第二夹紧装置相互配合以夹紧侧膜，在夹紧侧膜的状态下，第一夹紧装置和第二夹紧装置均为环形结构，第一夹紧装置及第二夹紧装置的环形结构的周向尺寸均能够被调节，以调整弹性气膜的周向尺寸，改变抛光晶圆的边缘受力。本方案可以提高抛光头的兼容性。

主权项：1.一种抛光头，用于化学机械抛光设备，其特征在于，包括：抛光头主体、弹性气膜、第一夹紧装置和第二夹紧装置，所述抛光头主体的一端形成有安装空间，所述弹性气膜设置在所述安装空间内，且弹性气膜形成侧膜和远离所述安装空间底部的底膜；所述第一夹紧装置与所述侧膜的内侧面接触，所述第二夹紧装置与所述侧膜的外侧面接触，所述第一夹紧装置和所述第二夹紧装置相互配合以夹紧所述侧膜；在夹紧所述侧膜的状态下，所述第一夹紧装置和所述第二夹紧装置均为环形结构，并且，所述第一夹紧装置及所述第二夹紧装置的环形结构的周向尺寸均能够被调节，以调整弹性气膜的周向尺寸，改变抛光晶圆的边缘受力。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 华海清科股份有限公司 抛光头及化学机械抛光设备

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