申请/专利权人：泰州芯格电子科技有限公司

申请日：2024-02-05

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117719083A

主分类号：B28D5/02

分类号：B28D5/02;B28D5/00;B24B27/06

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：本发明涉及划片设备技术领域，具体的说是一种晶圆片湿式切割用划片机，包括划片机本体、存储框、吸水结构、防护结构、固定结构、限位结构和安装结构，固定结构的设置便于对存储框内多个晶圆片进行固定，避免了搬运过程中晶圆片从存储框上滑落，限位结构的设置便于对第一拉板进行固定，在划片机本体内部组件配合对存储框内部晶圆片上料时，不会对晶圆片进行固定，提高了实用性，防护结构的设置便于减少切割时产生的水雾从观察窗下方通槽处飘出，吸水结构的设置便于对晶圆片上的水进行吸附，避免了残留的水对吸盘的吸附造成影响，安装结构的设置便于快速将固定板与安装板之间进行拆装，从而提高了吸水棉的安装效率。

主权项：1.一种晶圆片湿式切割用划片机，其特征在于，包括划片机本体（1）、安装在所述划片机本体（1）上的存储框（2）、安装于所述划片机本体（1）上的防护结构（4）、设于所述划片机本体（1）上的吸水结构（3）以及设于所述存储框（2）上的固定结构（5）；所述固定结构（5）包括第一固定杆（501）和橡胶垫（502），所述存储框（2）上滑动连接有多个第一固定杆（501），多个所述第一固定杆（501）上均固定连接有橡胶垫（502），多个所述第一固定杆（501）分别与两个连接板（503）之间固定连接，所述连接板（503）与存储框（2）之间滑动连接，两个所述连接板（503）与第一拉板（504）之间固定连接，所述第一拉板（504）与存储框（2）之间滑动连接，所述第一拉板（504）与存储框（2）之间固定连接有第一复位弹簧（505）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 泰州芯格电子科技有限公司 一种晶圆片湿式切割用划片机

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