申请/专利权人：中国电子科技集团公司第十四研究所

申请日：2023-04-28

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN116180059B

主分类号：C23C18/32

分类号：C23C18/32;C23C18/18

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2023.06.16#实质审查的生效;2023.05.30#公开

摘要：本发明提供了一种HTCC基板化学镀挂具及使用其进行化学镀的方法，所述HTCC基板化学镀挂具包括挂杆和基板固定架；所述基板固定架包括边框和基板固定杆；所述边框包括一条与水平方向平行的第一横杆和两条垂直于水平方向的纵杆，所述两条纵杆的顶端分别与第一横杆的两端连接；边框内还设置有多个平行于水平方向的基板固定杆，所述每个基板固定杆的两端分别与两条纵杆连接。本发明通过刚性基板挂具、距离控制杆的设计和化学镀方法的结合，效率高的同时能够获得均匀一致、附着良好的化学镀层，实现多品种、小批量氮化铝HTCC基板化学镀的高效高质量镀覆。

主权项：1.一种使用HTCC基板化学镀挂具进行化学镀的方法，其特征在于，所述HTCC基板化学镀挂具包括挂杆和基板固定架；所述基板固定架包括边框1和基板固定杆2；所述边框1包括一条与水平方向平行的第一横杆1-1和两条垂直于水平方向的纵杆1-2，所述两条纵杆1-2的顶端分别与第一横杆1-1的两端连接；边框1内还设置有多个平行于水平方向的基板固定杆2，每个所述基板固定杆2的两端分别与两条纵杆1-2连接；所述挂杆包括第二横杆4和多个固定连接于第二横杆4上的距离控制杆6；距离控制杆6上设置有多个挂钩组，每个挂钩组用来装挂第一横杆1-1；所述基板固定杆2上均匀地设置有多个基板装夹点3，所述基板装夹点3用于装夹HTCC基板；所述挂杆还包括设置于第二横杆4两端的卡扣5；所述卡扣5与距离控制杆6平行，卡扣5与第二横杆4为一体，卡扣5用于实现HTCC基板化学镀挂具与化学镀设备移动架之间的装夹固定；所述距离控制杆6垂直于水平方向，每个距离控制杆6的长度相同且位于同一水平高度，每个距离控制杆6的顶端与第二横杆4相连，第二横杆4与基板固定杆2保持平行；距离控制杆6沿第二横杆4的中轴线对称分布；每个挂钩组中各包括多个挂钩7且同个挂钩组中的挂钩7位于同一水平高度；所述方法包括以下步骤：1将HTCC基板装挂在HTCC基板化学镀挂具上；2将步骤1中装挂HTCC基板后的化学镀挂具在温度为18℃～30℃的除油液中浸泡20分钟～30分钟，取出晾干，得到除油基板；3将步骤2得到的除油基板在温度为45℃～55℃的钨活化液中浸泡1分钟～5分钟后取出用水冲洗干净，得到钨活化基板；4将步骤3得到的钨活化基板在温度为18℃～30℃的酸浸液中浸泡1分钟～3分钟后取出用水冲洗干净，得到酸浸基板；5将步骤4得到的酸浸基板在温度为18℃～30℃的钯活化液中浸泡1分钟～5分钟后取出用水冲洗干净，接着采用10％的稀盐酸溶液进行活化，得到钯活化基板；6将步骤5得到的钯活化基板在温度为78℃～85℃的化学镀镍溶液中施镀20分钟～25分钟，得到厚度为3.0微米～3.5微米的化学镀镍层；化学镀过程中，化学镀液位8位于第一横杆1-1之上；化学镀液包括除油液、钨活化液、酸浸液、钯活化液和化学镀镍溶液；所述钨活化液由双氧水、醋酸钠、醋酸和去离子水充分混合组成，其中每升钨活化液包括100毫升～300毫升双氧水、10g～30g醋酸钠、150毫升～350毫升醋酸，其余成分为去离子水；所述酸浸液由盐酸和去离子水组成，其中每升酸浸液包括300毫升～500毫升质量百分比37％浓盐酸，其余成分为去离子水；所述钯活化液由氯化钯、盐酸和去离子水组成，其中每升活化液中包括0.10g～0.25gPdCl2、1毫升～2.5毫升质量百分比37％浓盐酸，其余成分为去离子水。

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