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【发明授权】一种高倍率消球差紫外扩束镜_武汉光至科技有限公司_202311775091.1 

申请/专利权人:武汉光至科技有限公司

申请日:2023-12-22

公开(公告)日:2024-03-19

公开(公告)号:CN117452655B

主分类号:G02B27/09

分类号:G02B27/09

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.03.19#授权;2024.02.13#实质审查的生效;2024.01.26#公开

摘要:本发明提出了一种高倍率消球差紫外扩束镜,涉及激光技术领域,包括第一扩束透镜组和第二扩束透镜组,其中,第一扩束透镜组包括具有负屈折力的第一透镜;第二扩束透镜组包括具有负屈折力的第二透镜和具有正屈折力的第三透镜,第二透镜和第三透镜位于同一光轴;第一扩束透镜组和第二扩束透镜组的主光轴共轴;第一扩束透镜组的焦距F1满足:‑5.5<F1<‑4.5;第二扩束透镜组的焦距F2满足:68.5<F2<71.5;第二扩束透镜组与第一扩束透镜组的焦距之比满足:‑15.89<F2F1<‑12.45。本发明有助于实现扩束镜小体量的同时提升扩束镜的球差校正效果。

主权项:1.一种高倍率消球差紫外扩束镜,其特征在于,包括第一扩束透镜组1和第二扩束透镜组2,其中,所述第一扩束透镜组1包括具有负屈折力的第一透镜11;所述第二扩束透镜组2包括具有负屈折力的第二透镜21和具有正屈折力的第三透镜22,所述第二透镜21和所述第三透镜22位于同一光轴;所述第一扩束透镜组1和所述第二扩束透镜组2的主光轴共轴;所述第一扩束透镜组1的焦距F1满足:-5.5<F1<-4.5;所述第二扩束透镜组2的焦距F2满足:68.5<F2<71.5;所述第二扩束透镜组2与所述第一扩束透镜组1的焦距之比满足:-15.89<F2F1<-12.45。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 武汉光至科技有限公司 一种高倍率消球差紫外扩束镜

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