申请/专利权人：华虹半导体(无锡)有限公司

申请日：2023-07-31

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN220626175U

主分类号：G01N21/01

分类号：G01N21/01

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权

摘要：本申请公开了一种光学观察窗口结构，涉及半导体制造领域，包括：光学观察窗口、安装基台，安装基台靠近腔体侧墙的一侧开设有连通于光学观察窗口的光通道，另一侧开设有连通于光通道的卡槽，卡槽内设置有透镜，远离腔体侧墙的安装基台的一侧连接有光缆支架，光缆支架遮挡卡槽，光缆支架上开设有连通于卡槽的通孔；光缆支架上连接有配套于外置的光学分析设备的光学接收件，光学接收件的接收面朝向光通道；光学观察窗口内安装有延长件，延长件遮挡光学观察窗口靠近设备腔体的端面，设备腔体中的光线经过延长件后进入光通道内。通过延长件的设置，解决了光学观察窗口内以及透镜表面聚合物累积的问题。

主权项：1.一种光学观察窗口结构，其特征在于，包括：光学观察窗口11，所述光学观察窗口11形成在设备腔体的腔体侧墙1上；安装基台2，所述安装基台2连接于所述腔体侧墙1的外侧壁，所述安装基台2靠近所述腔体侧墙1的一侧开设有连通于所述光学观察窗口11的光通道21，另一侧开设有连通于所述光通道（21）的卡槽（22），所述卡槽（22）内设置有透镜（4），远离腔体侧墙（1）的安装基台（2）的一侧连接有光缆支架（3），所述光缆支架3遮挡所述卡槽（22），所述光缆支架3上开设有连通于所述卡槽（22）的通孔31；所述光缆支架3上连接有配套于外置的光学分析设备的光学接收件5，所述光学接收件5的接收面朝向所述光通道21；所述光学观察窗口11内安装有延长件6，所述延长件6遮挡所述光学观察窗口11靠近所述设备腔体的端面，所述设备腔体中的光线经过所述延长件6后进入所述光通道21内。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 华虹半导体(无锡)有限公司 一种光学观察窗口结构

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD