申请/专利权人：成都高投芯未半导体有限公司

申请日：2024-02-19

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN220624836U

主分类号：F27B9/12

分类号：F27B9/12;F27B9/06;F27B9/24;F27B9/30;F27B9/36

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权

摘要：本申请公开了一种隧道炉，涉及半导体制备技术领域，本申请的隧道炉，包括炉体，炉体内形成有固化通道，固化通道内延伸设置有多个传送机构，多个传送机构沿垂直于固化通道的径向排列，多个传送机构的进料端设置上料机构，上料机构沿传送机构排列的方向运动并将待固化物料分别传送至各个传送机构，多个传送机构的卸料端设置有下料机构，下料机构沿传送机构的排列方向运动以将固化物料卸料。本申请提供的隧道炉，能够提高隧道炉的固化效率。

主权项：1.一种隧道炉，其特征在于，包括炉体，所述炉体内形成有固化通道，所述固化通道内延伸设置有多个传送机构，多个所述传送机构沿垂直于固化通道的径向排列，多个所述传送机构的进料端设置上料机构，所述上料机构沿所述传送机构排列的方向运动并将待固化物料分别传送至各个传送机构，多个所述传送机构的卸料端设置有下料机构，所述下料机构沿所述传送机构的排列方向运动以将固化物料卸料。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 成都高投芯未半导体有限公司 一种隧道炉

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD