申请/专利权人：深圳优卫乐得科技有限公司

申请日：2023-08-25

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN220626855U

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权

摘要：本实用新型公开了一种长弧形偏振光双凸透镜，包括凸透镜主体；所述凸透镜主体包含凸面体、以及布置在凸面体侧壁的边沿卡端组件，边沿卡端组件由镜像设置的左边沿卡端和右边沿卡端构成，凸面体由上凸面和下凸面一体化连接构成；所述上凸面与下凸面的外形皆呈长弧形结构，该上凸面的表面设有一号增透膜，下凸面的表面设有二号增透膜；本实用新型非球面状长弧形结构的双凸透镜中心厚度较薄，提高了双凸透镜的出光效率，同时在增透膜的配合下来提升双凸透镜整体的透光率，使得光源均匀性更高，能够在晶圆曝光、蚀刻曝光机上作为偏振光平行光扫描光源使用。

主权项：1.一种长弧形偏振光双凸透镜，包括凸透镜主体；其特征在于：所述凸透镜主体包含凸面体、以及布置在凸面体侧壁的边沿卡端组件，边沿卡端组件由镜像设置的左边沿卡端和右边沿卡端构成，左边沿卡端布置在凸面体左侧上，右边沿卡端布置在凸面体右侧上，凸面体由上凸面和下凸面一体化连接构成；所述上凸面与下凸面的外形皆呈长弧形结构，该上凸面的表面设有一号增透膜，下凸面的表面设有二号增透膜。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳优卫乐得科技有限公司 一种长弧形偏振光双凸透镜

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